日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
df550c是基于df200c基础上的金属密封产品，它除开拥有df200
的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常适用于
高真空、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合
日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器 产品详情
日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
df550c是基于df200c基础上的金属密封产品，它除开拥有df200
的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常适用于
高真空、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合
泄漏率：1*10-11pa·m³/s以下
金属密封，适用于对泄漏率有高要求场合
日本科赋乐金属密封数字式质量流量控制器
性能参数：
量程(n2)
10sccm-10slpm
气体
所有气体
精度
±1.0%fs
重复性
±0.25%fs
有效范围
2-
响应时间
1秒以内
耐压
1.0mpa
进口大压力
0.5mpa
工作压差
0.05-0.3mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
温度范围
5~50℃
精度保证温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%rh(不能结露)
材质
本体sus316l
密封圈sus316l
电气接口
db9
通讯接口
rj45
模拟信号
0-5v输入/输出
供电
+24vdc(±10%)300ma；±15vdc(±10%)300ma
管路连接
标配1/4ujr
重量
约1100g